[发明专利]一种覆胶固晶设备

摘要

本发明公开了一种覆胶固晶设备，包括晶圆盘，用于放置待固晶的晶粒；胶盘，用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理；载体，用于提供该晶粒的待固晶位；固晶臂，用于拾取该晶粒，并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理，再通过该固晶臂将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位。采用单个机械臂完成个工艺过程（包括拾晶、取胶和固晶），解决了传统工艺时序及结构空间问题，采用增加工作单元的方式大幅提高设备产能，同时最主要的是解决了传统工艺中每次出胶高径比底，点胶精度和固晶精度交互影响，胶点形状、厚度、大小一致性差，厚度难以控制，引起黏结面有盲点或牢固性差等问题。

主权项

一种覆胶固晶设备，其特征在于，包括：晶圆盘，用于放置待固晶的晶粒；胶盘，用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理；载体，用于提供该晶粒的待固晶位；固晶臂，用于拾取该晶粒，并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理，再通过该固晶臂将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位；还包括一旋转装置，四个所述固晶臂间隔设置在所述旋转装置的周侧，通过所述旋转装置带动转动至预定工位，所述晶圆盘、胶盘、载体依次设置在所述固晶臂运动轨迹上的预定工位；所述预定工位包括：拾晶位、黏胶位及固晶位；还包括清洗盘，用于固晶后对固晶臂端部的吸嘴座上的吸嘴进行清洁处理；在固晶臂圆形运动轨迹的工位上依次设置有晶圆盘、胶盘、载体、清洗盘，将固晶臂圆形运动轨迹均分为四个方向的工位，而晶圆盘、胶盘、载体、清洗盘按照固晶循序依次放置在对应的四个方向的工位上；所述固晶臂端部设置有拾取装置，所述拾取装置通过真空吸附的方式将晶圆盘上顶起的晶粒抓住。