[发明专利]判断磁铁性能的方法有效
| 申请号： | 201410097487.X | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN103834927A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 丁同国;姜国伟;牟善勇;梁海林 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种判断磁铁性能的方法，由于磁铁性能体现在磁场强度上，若磁场强度有所下降，则会导致点火效率下降，当流入点火所需最低流量的氩气进行点火试验时，若能够点火成功，则说明磁铁所带来的磁场强度并未下降，即磁铁性能符合要求，若不能点火成功，则说明磁铁的磁场强度下降，磁铁的性能存在异常，从而快速判断出磁铁性能是否存在异常，无需更换RF进行尝试。 | ||
| 搜索关键词： | 判断 磁铁 性能 方法 | ||
【主权项】：
一种判断磁铁性能的方法，用于判断物理气相沉积设备的磁铁性能是否符合要求，所述方法包括步骤：流入点火所需最低流量的氩气；保持预定大小的电源功率；进行点火，若点火成功，则磁铁性能符合要求；若点火失败，则磁铁性能存在异常。
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