[发明专利]基底移动单元、沉积装置和制造有机发光显示装置的方法

摘要

提供了一种允许沉积材料被精确地沉积在基底的目标部位上的用于沉积装置的基底移动单元。该基底移动单元包括具有基底可被固定在其上的第一表面的静电卡盘和被设置在静电卡盘的第二表面上的磁力施加单元。还提出了包括该基底移动单元的沉积装置、制造有机发光显示装置的方法和通过使用该方法制造的有机发光显示装置。

主权项

1.一种沉积装置，包括：移动单元，包括静电卡盘和磁力施加单元，所述静电卡盘配置为将基底可拆卸地固定在所述静电卡盘的第一表面上，所述磁力施加单元设置在所述静电卡盘的第二表面上；传送单元，包括：配置为在第一方向传送所述移动单元的第一传送单元和配置为在与所述第一方向相反的第二方向传送所述移动单元的第二传送单元，其中所述第一传送单元和所述第二传送单元循环移动所述移动单元；和沉积单元，包括至少一个沉积组件，该至少一个沉积组件配置为当所述第一传送单元传送固定在所述移动单元上的所述基底时在与所述基底隔开的同时在所述基底上沉积材料，其中所述沉积组件包括：被配置为容纳沉积材料的沉积源；被配置为从所述沉积源向所述第一传送单元喷射所述沉积材料的沉积源喷嘴；和在所述沉积源喷嘴和所述移动单元之间的图案化缝隙片，所述图案化缝隙片包括多个图案化缝隙，其中所述磁力施加单元向所述图案化缝隙片施加磁力，以防止所述图案化缝隙片弯曲远离所述第一传送单元，所述静电卡盘的所述第一表面具有所述基底被安装在其上的基底安装表面和位于所述基底安装表面的一侧的第一缓冲表面，其中所述磁力施加单元覆盖至少所述基底安装表面和所述第一缓冲表面，并且所述基底被固定在其上的所述移动单元由所述第一传送单元传送以接近所述沉积组件的所述图案化缝隙片，使得在所述基底安装表面接近所述图案化缝隙片之前所述第一缓冲表面接近所述图案化缝隙片。