[发明专利]波浪纹型蓝宝石衬底及其制备方法有效
| 申请号： | 201410099882.1 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103855266A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈起伟;施荣华;孙智江;罗建华;张松红 | 申请（专利权）人： | 海迪科（南通）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种波浪纹型蓝宝石衬底，波浪纹型蓝宝石衬底的平坦表面上等距离规则排列若干凸起的周期图形，每个周期图形由至少5个三角圆锥体构成，三角圆锥体的角度范围为20-60°，每个周期图形的高度和底宽分别为0.1-2µm、2-3µm。根据本发明的波浪纹型蓝宝石衬底首先会在平坦部分生长重结晶的GaN，随着GaN向上生长超过波纹型PSS的顶部会在顶部横向生长，在波纹型PSS顶部生长的GaN融合并在波浪纹齿冠形状的顶部之间形成空气空隙，这些嵌入环形空气空隙增强了光的散射，可显著提高光的提取效率，从而增加LED的亮度，与现有技术中的半球型PSS相比，光的提取效率提高9.8%，从而使得制备出的LED芯片单位流明的价格降低，因此非常具有应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 波浪 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：所述的波浪纹型蓝宝石衬底的平坦表面上等距离规则排列若干凸起的周期图形，每个周期图形由至少5个三角圆锥体构成，所述的三角圆锥体的角度范围为20‑60°，每个周期图形的高度和底宽分别为0.1‑2µm、2‑3µm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于海迪科（南通）光电科技有限公司，未经海迪科（南通）光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410099882.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
