[发明专利]具有被动元件的芯片堆叠中介结构及其制造方法在审
申请号: | 201410100081.2 | 申请日: | 2014-03-18 |
公开(公告)号: | CN104934415A | 公开(公告)日: | 2015-09-23 |
发明(设计)人: | 周志飚;吴少慧;古其发 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/538;H01L21/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种具有被动元件的芯片堆叠中介结构,包括中介层、电容器、第一接触窗及第二接触窗。电容器嵌于中介层中或位于中介层上,包括第一电极、第二电极,以及位于第一、第二电极之间的介电质。第一接触窗与第一电极连接,第二接触窗与第二电极连接,且第一接触窗与第二接触窗在中介层的同一侧或不同侧。 | ||
搜索关键词: | 具有 被动 元件 芯片 堆叠 中介 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种具有被动元件的芯片堆叠中介结构,包括:中介层;电容器,嵌于该中介层中或位于该中介层上,包括第一电极、介电质以及第二电极,其中该介电质位于该第一电极与该第二电极之间,部分的该第一电极未与该第二电极重叠,且部分该第二电极未与该第一电极重叠;第一接触窗,与该第一电极连接;以及第二接触窗,与该第二电极连接,其中该第一接触窗与该第二接触窗在该中介层的同一侧。
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