[发明专利]硬件早期故障探测方法和装置在审
| 申请号： | 201410101114.5 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN104932428A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 余志贤;刘立;闫卫卫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/406 | 分类号： | G05B19/406 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硬件早期故障探测方法和装置，其中，该方法包括：获取晶片加工机床加工晶片的原始数据；根据原始数据，统计晶片加工机床的预定事件信息，其中，预定事件信息包括：预定事件的类型和预定事件的出现频率；根据预定事件信息，确定晶片加工机床中与类型所对应的硬件的早期故障状况。通过本发明，解决了相关技术中无法侦测硬件早期故障问题所导致大量晶片报废的问题，提供了一种探测硬件早期故障问题的方法，降低了晶片报废率。 | ||
| 搜索关键词： | 硬件 早期 故障 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种硬件早期故障探测方法，其特征在于包括：获取晶片加工机床加工晶片的原始数据；根据所述原始数据，统计所述晶片加工机床的预定事件信息，其中，所述预定事件信息包括：预定事件的类型和所述预定事件的出现频率；根据所述预定事件信息，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况。
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