[发明专利]带温度补偿的压力传感器校准方法

摘要

本发明公开了一种扩散硅压阻式传感器的校准方法，该方法通过在测量常温和其他几个温度点下压力传感器的零度漂移值和灵敏度漂移值，并将常温下不同压力及其对应的AD值存储于该压力传感器的压力参数表中，然后通过曲线拟合法得到压力传感器在其工作的全温度范围内的零度漂移值和灵敏度漂移值，通过计算，可以将任一温度下传感器压力AD值转换为常温下的AD值，最后对照上述参数表，进而得到补偿后的压力测量值；该方法直接利用了重要参数——压力传感器的零度漂移和灵敏度漂移，校正后的压力传感器精度高，操作简单。

主权项

1.一种带温度补偿的压力传感器校准方法，包括以下步骤：步骤1：在常温T₀下，由压力源向压力传感器提供一组压力值P₀、P₁、P₂、...、P_m，并记录对应压力下压力传感器的AD值，AD₀、AD₁、AD₂、...AD_m，对应关系如下表一： 表一  P(kpa)P₀P₁P₂...P_m   ADAD₀AD₁AD₂...AD_m将该表的数据存入所述压力传感器的压力参数表中；步骤2：根据步骤1中所得的数据，通过计算得到常温T₀下所述压力传感器的零点漂移值a_T0和灵敏度漂移值b_T0，其中：，上述式子中：m为测试点个数，为提供的标准压力值，为传感器AD值的平均值；步骤3：根据上述获取常温T₀下所述压力传感器的零点漂移值a_T0和灵敏度漂移值b_T0的方法，获得其它测试温度点下，所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值，如表二所示：表二  TT₁T₂   ...T_n  aa_T1a_T2   ...a_Tn  bb_T1b_T2   ...b_Tn步骤4：将上述在温度T₀、T₁、T₁、...、T_n，所述压力传感器对应的零度漂移值和灵敏度漂移值（a_T0，b_T0），（a_T1，b_T1），（a_T2，b_T2）,...,（a_Tn，b_Tn），通过曲线拟合，可得所述压力传感器在全温度范围内的零点漂移值和灵敏度漂移值；步骤5：将任意温度T_n下的压力AD_Tn值转化为常温下该压力下的AD_常温值，AD_常温=a₀+b₀（AD_Tn-a_Tn）/b_Tn；步骤6：将步骤5得到的AD_常温，对照上述表一，寻找AD_常温前后与其大小相差最小的AD值，即AD_前、AD_后及其对应的压力P_前、P_后，利用线性插值法得到实际压力值P，即为校准后的压力值：        P=P_前+(P_后-P_前)(AD_常温-AD_前)/(AD_后-AD_前) ；根据权利要求1所述的带温度补偿的压力传感器校准方法，其特征在于，选取的测试温度点，相邻特定温度点间的差值为20摄氏度。