[发明专利]电子束光刻对准标记在芯片上的布局有效
| 申请号： | 201410103327.1 | 申请日： | 2014-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN104932212B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 牛洁斌;刘明;陈宝钦;谢常青;龙世兵;王冠亚;张建宏;李海亮;史丽娜;朱效立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。该布局更方便对准标记掩模板的制造，能更容易地在电子束套刻对准时寻找标记，能应用于任意大小形状的衬底，能够设置多组对准标记以满足多次电子束套刻对准曝光，而且该布局有利于提高芯片的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束光刻 对准 标记 芯片 布局 | ||
【主权项】：
一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，其特征在于，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。
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