[发明专利]一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法

摘要

本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向，包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器；该单晶硅棒晶向检测装置的晶向检测方法包括步骤：操作气缸、开启气源、启动晶向检测传感器并计算圆形单晶硅棒表面到激光发出点的距离最小值，该距离最小值即为晶棒的晶向。本发明能自动检测装夹于工作台上的晶棒的晶向，采用非接触式测量方法，检测精度高、响应快、耗时短、可自动控制；结构简单，陈本低，不需人工参与，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。

主权项

一种单晶硅棒晶向检测装置，用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向，其特征在于，包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器；支撑臂固定在支架上，固定护罩安装在支撑壁上，晶向检测传感器通过晶向检测传感器支架安装在固定护罩上，晶向检测传感器用于通过测量圆形单晶硅棒表面到测量零点的距离，进行圆形单晶硅棒的晶向判断；固定护罩的中部设有孔，气缸一端安装在支撑臂上，另一端穿过固定护罩中部的孔，并通过气缸的活塞杆与升降护罩相连接，活塞杆带动升降护罩进行上下移动，以完成升降护罩的打开和关闭，升降护罩关闭时，能通过升降护罩的下移将晶向检测传感器罩在升降护罩内，升降护罩打开时，能通过升降护罩的上移使晶向检测传感器从升降护罩内露出。