[发明专利]一种防止可靠性测试时发生共振的结构无效
| 申请号： | 201410106565.8 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103884873A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王炯;周柯;陈雷刚 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防止可靠性测试时发生共振的结构，涉及半导体测试工艺领域，包括测试机台、测试器件和外加电容，测试器件和外加电容设于测试机台上，测试器件上设有漏极和衬底，测试器件的漏极和衬底之间并联外加电容，并联的测试器件和外加电容的外加频率不等于测试机台的固有频率。本发明的技术方案有效的解决了封装级别可靠性测试发生共振无法正常测试的问题，不但节约了测试资源，还节约了测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 可靠性 测试 发生 共振 结构 | ||
【主权项】：
一种防止可靠性测试时发生共振的结构，其特征在于，包括测试机台、测试器件和外加电容，所述测试器件和外加电容设于所述测试机台上，所述测试器件上设有漏极和衬底，所述测试器件的漏极和衬底之间并联所述外加电容，所述并联的测试器件和外加电容的外加频率不等于所述测试机台的固有频率。
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