[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体有效

专利信息
申请号: 201410106982.2 申请日: 2014-03-21
公开(公告)号: CN104079255B 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 田中雅子;小幡直久;菊岛正幸 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: H03H9/02 分类号: H03H9/02;H03H9/19
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够降低由加速度等外力引起的振动特性的变化,发挥稳定的振动特性。振动元件(1)具有包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)的压电基板(2)。此外,厚壁部(22)具有沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(212)设置的第2厚壁部(24)以及沿着第3外缘(213)设置的第3厚壁部(25),在压电基板(2)的连接第2厚壁部(24)和第3厚壁部(25)的角部上,设有分别相对于X轴方向和Z’轴方向这两个方向倾斜的第1倾斜外缘部(26)。
搜索关键词: 厚壁部 振动元件 振动部 电子设备 压电基板 振动特性 移动体 振荡器 振子 厚度比 外缘部 角部
【主权项】:
一种振动元件,其特征在于,该振动元件具有:基板,其包含第1区域和第2区域,所述第1区域包含进行厚度剪切振动的振动区域,所述第2区域的厚度比所述第1区域的厚度厚;以及激励电极,其配置于所述振动区域的正面和背面,所述第1区域包含:第1外缘和第2外缘,所述第1外缘配置于所述厚度剪切振动的振动方向的一端,所述第2外缘配置于所述振动方向的另一端;以及第3外缘和第4外缘,所述第3外缘配置于与所述振动方向交叉的方向的一端,所述第4外缘配置于所述交叉的方向的另一端,所述第2区域包含:第1厚壁部,其设置有固定于对象物的固定部,沿着所述第1外缘配置;第2厚壁部,其沿着所述第2外缘配置;以及第3厚壁部,其沿着所述第3外缘配置且与所述第1厚壁部和所述第2厚壁部连接,所述基板的俯视时的外缘在连接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的连接部上,包含在俯视时相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向交叉的第1外缘部。
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