[发明专利]浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法有效
| 申请号： | 201410110134.9 | 申请日： | 2014-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103885301A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 傅新;杨凯;陈文昱;张志杰;杜凌云 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法。将浸液传送系统的时序控制过程当作状态机构建符合浸没传送系统时序控制过程的扩展有限状态机模型；通过将接收到的系统信息输入量与扩展有限状态机模型进行匹配，实现对浸没式光刻机浸液传送系统的当前状态、控制时序以及当前状态所对应的下一步控制操作进行同时定位。本发明针对具有时序要求的系统的控制时序设计提供了一种简便、高效的设计方法，能够降低系统控制时序的设计周期。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 光刻 浸液 传送 系统 控制 时序 模型 匹配 方法 | ||
【主权项】：
一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：将浸液传送系统的时序控制过程当作状态机构建符合浸没传送系统时序控制过程的扩展有限状态机模型；通过将接收到的系统信息输入量与扩展有限状态机模型进行匹配，实现对浸没式光刻机浸液传送系统的当前状态、控制时序以及当前状态所对应的下一步控制操作进行同时定位。
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