[发明专利]带清洗枪的竖式清洗机在审
申请号: | 201410110735.X | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN103894380A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 张瑜;俞玮;秦贵明 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B08B9/023 | 分类号: | B08B9/023;B08B9/032 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种带清洗枪的竖式清洗机,包括:清洗支架,包括顶支架、侧支架和底支架;设置于顶支架上的顶部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁;设置于侧支架上的侧部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁;设置于底支架上的底部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的内壁;设置于所述清洗支架上的清洗枪,用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。本发明不仅能够清洗清洗常压炉管工艺腔的内外壁,而且能够同时清洗排气端内壁,提高排气端的清洗质量。 | ||
搜索关键词: | 清洗 | ||
【主权项】:
一种带清洗枪的竖式清洗机,其特征在于,包括:清洗支架,包括顶支架、侧支架和底支架;设置于顶支架上的顶部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的封闭端外壁;设置于侧支架上的侧部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的外侧壁;设置于底支架上的底部喷头,用于清洗常压炉管工艺腔的内壁;设置于所述清洗支架上的清洗枪,用于插入常压炉管工艺腔的排气端内对排气端的内壁进行清洗。
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