[发明专利]一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置

摘要

本发明公开了一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置。线偏振激光器出射的光经过二分之一波片、第一四分之一波片、第一分光镜后分为两束，透射部分通过两个反射镜和第二分光镜后进入准直扩束系统，反射部分通过第二四分之一波片、两个反射镜、第三四分之一波片后产生旋向与透射部分相反的圆偏振光，并经过第二分光镜进入准直扩束系统，两束光会合后通过显微物镜会聚到点衍射孔上，衍射出含有左旋和右旋两束光的近似标准球面波，测试光经待测件反射、点衍射板反射后与旋向相反的参考光会合，经过第四四分之一波片和检偏器后得到干涉条纹，通过旋转检偏器来实现干涉条纹对比度可调。本发明实现了条纹对比度可调，测量精度高。

主权项

一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置，其特征在于：包括线偏振激光器(1)、二分之一波片(2)、第一四分之一波片(3)、第一分光镜(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜(6)、第二四分之一波片(7)、第三反射镜(8)、第四反射镜(9)、第三四分之一波片(10)、第二分光镜(11)、准直扩束系统(12)、显微物镜(13)、点衍射板(14)、待测球面(15)、压电移相器(16)、准直透镜(17)、第四四分之一波片(18)、检偏器(19)、成像透镜(20)和探测器(21)；线偏振激光器(1)、二分之一波片(2)、第一四分之一波片(3)、第一分光镜(4)和第一反射镜(5)依次共光轴设置，线偏振激光器(1)、二分之一波片(2)、第一四分之一波片(3)、第一分光镜(4)和第一反射镜(5)所在光轴为第一光轴；第四反射镜(9)、第三四分之一波片(10)、第二分光镜(11)、准直扩束系统(12)、显微物镜(13)和点衍射板(14)依次共光轴设置，第四反射镜(9)、第三四分之一波片(10)、第二分光镜(11)、准直扩束系统(12)、显微物镜(13)和点衍射板(14)所在光轴为第二光轴，第二光轴与第一光轴垂直；第一分光镜(4)、第二四分之一波片(7)和第三反射镜(8)依次共光轴设置，第一分光镜(4)、第二四分之一波片(7)和第三反射镜(8)所在光轴为第三光轴，第三光轴与第二光轴平行，且与第一光轴垂直；第二反射镜(6)位于第一反射镜(5)和第二分光镜(11)之间，将第一反射镜(5)的光束反射至第二分光镜(11)；待测球面(15)与压电移相器(16)连接，待测球面(15)所在光轴为第四光轴，准直透镜(17)、第四四分之一波片(18)、检偏器(19)、成像透镜(20)和探测器(21)依次共光轴设置，准直透镜(17)、第四四分之一波片(18)、检偏器(19)、成像透镜(20)和探测器(21)所在光轴为第五光轴，第四光轴和第五光轴关于第二光轴对称。