[发明专利]一种采用预氧结合低温-高温-低温的变温扩散方式对磷掺杂浓度进行控制的方法有效
| 申请号： | 201410113353.2 | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103943719A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 赵永乐;王传红;闫用用;李积伟 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/22 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用预氧结合低温-高温-低温的变温扩散方式对磷掺杂浓度进行控制的方法，该方法包含预氧化与低温-高温-低温三步变温扩散过程，该工艺通过对温度梯度进行优化，能精确控制磷掺杂浓度梯度，获得良好的PN结以及方阻均匀性，提高太阳能电池的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 结合 低温 高温 扩散 方式 掺杂 浓度 进行 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种采用预氧结合低温‑高温‑低温的变温扩散方式对磷掺杂浓度进行控制的方法，其特征是含以下步骤：（1）进舟，将制绒后的硅片在700~800℃条件下，通入氧气和大氮进行预氧化，氧化时间为3~10min；（2）调节温度为700~800℃，通入携带磷源的小氮、大氮和氧气进行沉积、扩散推结，时间为10~30min；（3）升温至800~860℃，通入携带磷源的小氮、大氮和氧气进行沉积、扩散推结，时间为10~20min；（4）降温至700~800℃，通入携带磷源的小氮、大氮和氧气进行沉积、扩散推结，时间为5~15min；（5）进行降温出舟。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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