[发明专利]一种光加热补偿镜及其使用方法

摘要

本发明的目的在于提供一种光加热补偿镜及其使用方法。该光加热补偿镜包括镜体、激光衰减器和激光扩束系统和光阑；热补偿时，部分激光从开有中心通孔的镜体中心透过，然后依次经激光衰减器调节热补偿能量、经由凹透镜和凹面镜组成的激光扩束系统调节热补偿光束直径和经由光阑调节热补偿加热范围后照射到镀有高吸收膜的镜体背面进行热补偿。该发明可以利用激光器本身的光能实现激光腔镜的均匀热补偿，将激光腔镜光斑部分热变形降低至原来的1/40以下。

主权项

1.一种光加热补偿镜，其特征在于：它包括镜体（1）、激光衰减器（2）、激光扩束系统（3）和光阑（4）；激光扩束系统由一块凹透镜（5）和一块凹面镜（6）组成；镜体（1）、激光衰减器（2）、凹透镜（5）、凹面镜（6）从左至右依次设置；镜体的中心开有通孔，激光从于镜体左侧的前表面穿过通孔后，再经激光衰减器（2）、凹透镜（5）至凹面镜（6）的反射面、再由凹面镜（6）反射至镜体（1）右侧的后表面；光阑（4）由一个大圆环（7）、一个小圆环（8）同轴设置而成，大圆环（7）的内环直径和小圆环（8）的外环直径可以按需要进行调整；光阑（4）设置于镜体（1）的右侧后表面、位于镜体（1）与凹面镜（6）之间。