[发明专利]光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学膜厚仪

摘要

本发明涉及一种光学薄膜的膜厚监控方法及非规整膜系光学薄厚仪。现有技术存在的精度不高、难以得到良好的重复性、后续处理操作繁琐、对设备的稳定程度要求较高和成本高的问题。一种光学薄膜的膜厚监控方法，采用相同膜料进行预镀；调整；消除直流分量；通过数学处理可以得到近似的三角波；非规整膜系光学薄厚仪，包括单一波长的激光光源、比较片、光电探测器、放大器和计算机，出射光光路上有调制器和分束器，比较片上有四片相同膜料进行预镀且薄膜光学厚度分别相差为λ/8的薄膜；光电探测器采用四象限探测器。本发明方法实现非规整膜系的监控，设备测量精度高，信号稳定。

主权项

1.一种光学薄膜的膜厚监控方法，其特征在于：依次包括下述步骤：一、采用相同膜料进行预镀，四片薄膜光学厚度分别相差为λ/8，然后在实际镀膜过程中四片一起被沉积上薄膜，可以得到四路相差为90度的正弦或余弦信号，数学表达式依次记为：T₀₁、T₀₂、T₀₃、T₀₄(2)(3)(4)(5)二、调整：对四路信号依次求倒数，再乘以常数，得到信号F01、F02、F03、F04(6)(7)(8)(9)三、消除直流分量，得到依次相差90度的正弦或余弦信号：（10）（11）（12）（13）其中，四、由四路相位依次相差90度的正弦信号，通过数学处理可以得到近似的三角波。