[发明专利]九头激光平面度测量仪有效
申请号: | 201410116050.6 | 申请日: | 2014-03-26 |
公开(公告)号: | CN103940378A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 洪金龙;仇增华 | 申请(专利权)人: | 东莞市天勤仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 赵蕊红 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种九头激光平面度测量仪,设置有架体和激光发射单元,所述架体设置有基座和用于放置测试样品的测试平台,所述基座位于所述测试平台下方,所述激光发射单元装配于所述基座,所述测试平台位于所述激光发射单元上方,激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测;所述激光发射单元由九个激光发射器构成,九个激光发射器分别固定于所述基座,每个激光发射器距离测试平台之间的距离相等。该九头激光平面度测量仪具有结构简单、操作方便、测试结果准确的特点。 | ||
搜索关键词: | 激光 平面 测量仪 | ||
【主权项】:
一种九头激光平面度测量仪,其特征在于:设置有架体和激光发射单元,所述架体设置有基座和用于放置测试样品的测试平台,所述基座位于所述测试平台下方,所述激光发射单元装配于所述基座,所述测试平台位于所述激光发射单元上方,激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测;所述激光发射单元由九个激光发射器构成,九个激光发射器分别固定于所述基座,每个激光发射器距离测试平台之间的距离相等。
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