[发明专利]SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器及其阵列

摘要

本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列。SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器包括基底和其上的绝缘层；位于绝缘层之上由支撑梁支撑具有反射面的可动平板，由施加到支撑梁或的偏压驱动做垂直上下移动；支撑梁由梁体和支撑柱组成，梁体的中部与可动平板连接，梁体的材料为形状记忆合金SMA；一个固定光栅，罩于上述部件组成的结构单元之上。本发明利用形状记忆合金在加电升温后材料可以变形到预设的形状，形成双稳态特性，达到减低光栅非稳态位置驻留引起的位置漂移和防止粘附失效发生的目的，同时具有驱动电压低，可以和常规数字芯片驱动电路兼容、大行程、驱动力大的优点。

主权项

SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器，其特征在于包括： a基底； b基底之上形成的绝缘层； c位于绝缘层之上一定间距、由支撑梁支撑的可动平板，可动平板具有反射面，并由施加到支撑梁或的偏压驱动做垂直上下移动； d用于支撑可动平板的支撑梁，该支撑梁由梁体和支撑柱组成，梁体的两端通过支撑柱固定设置于绝缘层上，梁体的中部与可动平板固定连接，梁体的材料为形状记忆合金SMA； e一个固定光栅，该固定光栅罩于上述部件组成的结构单元之上，并与基底固定，固定光栅与绝缘层之间为可动平板移动的空间间隙； f驱动电路，通过电极引出线连接支撑梁，可产生不同幅度、不同频率的驱动电流。