[发明专利]百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器及其阵列

摘要

本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器，包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层、可动框架、柔性梁、光栅镜面、双层梳齿驱动结构、弹性悬臂梁、偏压施加装置及多个柱子；所述光栅镜面一侧通过支撑梁和2个柱子固定在衬底表面,另一侧通过变形梁与可动框架连接，由双层梳齿驱动结构驱动；所述偏压施加装置，可产生不同电平、不同频率的驱动电压施加在动齿与定齿之间，使动齿发生偏转和移动，带动可动框架，可动框架通过变形梁拉动光栅镜面，产生偏转。本结构使MEMS闪耀光栅具有转动角度大、连续模拟可调、可控能力好、衍射效率高、调谐频率高、防止粘附失效的优点。

主权项

百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层、可动框架、柔性梁、光栅镜面、双层梳齿驱动结构、弹性悬臂梁、偏压施加装置及多个柱子；所述光栅镜面通过弹性悬臂梁及可动框架悬空支撑于绝缘层上方，光栅镜面的一侧通过支撑梁和2个柱子固定在衬底表面,另一侧通过变形梁与可动框架连接，可动框架由柔性梁支撑在绝缘层上方，由双层梳齿驱动结构驱动，双层梳齿驱动结构由定齿和动齿组成，定齿通过柱子固定在衬底表面，动齿与可动框架是一体的，动齿布置在定齿上方，与定齿交错，所述偏压施加装置，可产生不同电平、不同频率的驱动电压施加在动齿与定齿之间，使动齿发生偏转和移动，带动可动框架，可动框架通过变形梁拉动光栅镜面，产生偏转。