[发明专利]一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法有效
| 申请号： | 201410116791.4 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103866262A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘彦军;曾建强 | 申请（专利权）人： | 北京博赛德科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/24 | 分类号： | C23C16/24;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于材料表面处理技术领域，本发明公开了一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法，采用硅烷化处理剂四氢化硅与参杂剂氢化磷形成的混合气体，通过化学气相沉积，在不锈钢表面形成一层无定型硅处理膜，所述的混合气体中，四氢化硅的体积百分比为95-99%，氢化磷的体积百分比为0.1-5%。相对于现有技术，本发明的有益效果为：不锈钢表经硅烷化处理后具有良好的抗腐蚀性能，含有酸性物质的气体样品在不锈钢罐中储存及运输过程中浓度无明显变化，满足了大气环境气体样品采集、分析的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不锈钢 表面 硅烷 处理 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种不锈钢表面硅烷化处理膜的制备方法，其特征在于：采用硅烷化处理剂四氢化硅与参杂剂氢化磷形成的混合气体，通过化学气相沉积，在不锈钢表面形成一层无定型硅处理膜，所述的混合气体中，四氢化硅的体积百分比为95‑99%，氢化磷的体积百分比为0.1‑5%。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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