[发明专利]一种提拉法生长人工晶体的装置有效
| 申请号： | 201410117266.4 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103911653A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;王彪;马德才 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/28 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提拉法生长人工晶体的装置。其包括炉体、晶体提升机构、晶转装置和与晶体提升机构连接的提升平台，还包括双支撑结构，所述双支撑结构包括称重翻板和等高安装在提升平台上的称重支座、称重传感器，称重支座和称重传感器位于称重翻板的下方并对称地与称重翻板两端连接形成称重翻板的两个支撑点，晶转装置安装在称重翻板上方且其重心落于称重翻板的中心。本发明采用双支撑结构，在保证支撑的前提下，有效平衡称重传感器量程与精度之间的矛盾，在实现高精度称重的同时实现晶转-晶升运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提拉法 生长 人工 晶体 装置 | ||
【主权项】：
一种提拉法生长人工晶体的装置，包括炉体、晶体提升机构、晶转装置和与晶体提升机构连接的提升平台，其特征在于，还包括双支撑结构，所述双支撑结构包括称重翻板和等高安装在提升平台上的称重支座、称重传感器，称重支座和称重传感器位于称重翻板的下方并对称地与称重翻板两端连接形成称重翻板的两个支撑点，晶转装置安装在称重翻板上方且其重心落于称重翻板的中心。
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