[发明专利]分离上电极与冷却盘的装置有效
| 申请号： | 201410117683.9 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103871936B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 朱怀昊;季高明 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分离上电极与冷却盘的装置。其包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆，当需要对上电极进行维护时，操作人员操作所述操作杆时，所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后，以分离所述上电极与所述冷却盘。由于采用操作杆和分离臂机械配合的方式，使得分离臂可以匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙，因此，无须单纯的依靠蛮力硬性将工具插入到安装间隙中，避免了出现人为造成电极被损坏，同时也避免了上电极的边缘较为锋利导致的操作人员受伤。 | ||
| 搜索关键词： | 分离 电极 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种分离上电极与冷却盘的装置，其特征在于，包括分离臂、与所述分离臂连接的操作杆，所述操作杆为一旋转杠杆，用于通过操作人员对其进行旋转控制，所述操作杆的中心轴与所述分离臂之间设置有一力矩转换机构，用于将所述操作杆的旋转力转换为所述分离臂的水平直行力，当需要维护上电极时，操作人员操作所述操作杆时，所述分离臂匀速水平进入所述上电极与所述冷却盘之间的安装间隙后，以分离所述上电极与所述冷却盘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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