[发明专利]一种半导体制造试验工艺流程的建立方法

摘要

一种半导体制造试验工艺流程的建立方法，包括提供用于存储试验信息建立平台中已经试验过的每个产品工艺流程数据记录的数据库；其中，产品工艺流程数据库的层次结构由每个产品的名称和编号为索引，每个产品至少对应一个工艺流程，每一个工艺流程由很多个工艺站点串联起来的，每个工艺站点中又包含了至少一条工艺流程条件的辅助信息；在建立新产品试验信息建立平台前，以产品的名称搜索所述数据库，如果有相同产品名称的工艺流程数据记录，在数据库中将该工艺流程数据记录复制在新产品工艺流程数据记录中；其中，新产品工艺流程数据记录赋予与原记录相同的名称，以及与原记录以示区别的编号，并将记录存储到数据库中。

主权项

一种半导体制造试验工艺流程的建立方法，其特征在于，所述工艺流程在制造执行系统控制下，所述系统包括主工艺系统平台和试验信息建立平台；所述主工艺系统平台执行在线的工艺流程，所述试验信息建立平台按需求变更重新建立一条工艺流程；所述方法包括：步骤S01，提供用于存储试验信息建立平台中已经试验过的每个产品工艺流程数据记录的数据库；其中，所述产品工艺流程数据库的层次结构由每个产品的名称和编号为索引，每个产品至少对应一个工艺流程，每一个所述工艺流程由很多个工艺站点串联起来的，每个所述工艺站点中又包含了至少一条工艺流程条件的辅助信息；步骤S02，在建立新产品试验信息建立平台前，以所述产品的名称搜索所述数据库，如果有相同产品名称的工艺流程数据记录，执行步骤S03；否则，执行步骤S04；步骤S03：在数据库中将所述工艺流程数据记录复制在所述新产品工艺流程数据记录中；其中，所述新产品工艺流程数据记录赋予与原记录相同的名称，以及与所述原记录以示区别的编号，并将所述记录存储到所述数据库中；执行步骤S05；步骤S04：进行建立新产品试验信息建立平台工作，并将所述新产品的工艺流程数据记录，存储到所述数据库中；具体包括：步骤S041：判断所述新产品工艺流程数据记录是否与所述数据库中其它产品工艺流程数据记录相同，如果是，执行步骤S042，否则，执行步骤S043；步骤S042：在数据库中将相同的所述其它产品工艺流程数据记录复制在所述新产品工艺流程数据记录中；执行步骤S05；步骤S043：将所述新产品的工艺流程数据记录，存储到所述数据库中；步骤S05：按照所述新产品的工艺流程数据记录进行产品试验。