[发明专利]原子力显微镜探针装置有效
| 申请号： | 201410118223.8 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103852600A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 白英英;张守龙;王伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探测针和探针座。所述探测针包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽。探针座包括吸附件和定位件。所述吸附件具有吸附面，该吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面。所述定位件包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。本发明的原子力显微镜探针装置能够避免换针过程中探针错位，跌落或位置不正等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜的探针装置，其特征在于，包括：探测针，其包括微悬臂以及设于所述微悬臂一端的针尖，所述微悬臂远离所述针尖的另一端的侧表面形成有狭槽；以及探针座，其包括：吸附件，其具有吸附面；所述吸附面上开设有与抽真空部件连通的导气槽，用于使所述探测针吸附于所述吸附面；以及定位件，其包括本体以及设于所述本体下端的狭槽贴片，所述狭槽贴片与所述狭槽的形状相配合；所述本体滑设于所述吸附件的两侧且于第一位置和第二位置之间移动以使所述狭槽贴片嵌入所述狭槽或从所述狭槽中分离。
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