[发明专利]微振动传感器有效
| 申请号： | 201410118368.8 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104953888B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 叶柏盈;王雪;崔婧 | 申请（专利权）人： | 纳米新能源（唐山）有限责任公司 |
| 主分类号： | H02N1/04 | 分类号： | H02N1/04;G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)11276 | 代理人： | 宋菲,刘云贵 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微振动传感器，包括依次层叠设置的第一摩擦层，第一隔离层，中间摩擦层，第二隔离层和第二摩擦层；第一、第二摩擦层分别包括层叠的高分子聚合物绝缘层和接地电极；中间摩擦层包括第一输出电极和第二输出电极，并制作有悬臂梁结构；主体部分的两侧表面分别通过第一隔离层的空腔和第二隔离层的空腔与第一、第二摩擦层的高分子聚合物绝缘层形成摩擦界面；中间摩擦层的悬臂梁结构以外的部分分别通过第一隔离层和第二隔离层与第一摩擦层的高分子聚合物绝缘层和第二摩擦层的高分子聚合物绝缘层粘接。该悬臂梁结构使得微振动传感器能够感测到微小外力，显著提高了传感器的灵敏度，并且接地电极也起到电磁屏蔽的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种微振动传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的第一摩擦层，第一隔离层，中间摩擦层，第二隔离层和第二摩擦层；所述第一摩擦层包括层叠的第一高分子聚合物绝缘层和第一接地电极；所述第二摩擦层包括层叠的第二高分子聚合物绝缘层和第二接地电极；所述中间摩擦层包括作为两个信号输出端的第一输出电极和第二输出电极，所述中间摩擦层具有悬臂梁结构，所述悬臂梁结构包括悬臂和主体部分；所述第一隔离层和第二隔离层均具有与所述主体部分相适应的空腔；所述主体部分的两侧表面分别通过所述第一隔离层的空腔和所述第二隔离层的空腔与所述第一摩擦层的第一高分子聚合物绝缘层和所述第二摩擦层的第二高分子聚合物绝缘层形成摩擦界面；所述中间摩擦层的悬臂梁结构以外的部分分别通过所述第一隔离层和第二隔离层与所述第一摩擦层的第一高分子聚合物绝缘层和第二摩擦层的第二高分子聚合物绝缘层粘接。
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