[发明专利]注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法

摘要

注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,制备方法包括，(1)浆料准备；粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨后导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，取出靶胚体放置在通风区域干燥；（3）靶材烧结；烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。不但能同时满足大面积镀膜应用在靶材尺寸和形状上的要求，而且能很好的控制成本，提高生产效率。产品的稳定性、均匀性，可成形大尺寸、高密度、复杂形状靶材，可以保证靶材的密度和微观结构的均匀性。

主权项

注浆成型的陶瓷旋转靶材的制备方法,其特征在于，制备方法包括，(1)浆料准备；将称重后的粉体放入球磨管，加入纯水后开始球磨，球磨至少5个小时后，将球磨好的粉体导入到压力浆料储罐中开始制备注浆；（2）注浆成型；将模具装配好从上下方向压紧，向模具内输送浆料同时从模具上下模分别开始抽气，注浆结束后，同时停止抽气，关闭进料阀门；完成注浆停止抽气后，再次启动成型机，打开上下顶板，取出靶胚体放置在通风区域干燥； （3）靶材烧结；将经过注浆和干燥的靶胚体放置到脱脂炉中进一部烘干剩余水份，后转入烧结炉进行烧结，通过自然降温，当炉膛温度小于200℃后，打开炉门得到靶材。