[发明专利]振动片及其制造方法

摘要

本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。

主权项

1.一种振动片的制造方法，其特征在于，包括：对于具备基部、从所述基部起在第一方向上延伸的第一检测用振动臂以及第二检测用振动臂、从所述基部起在与所述第一方向为相反方向的第二方向上延伸的第一驱动用振动臂以及第二驱动用振动臂，且所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂沿着与所述第一方向交叉的第三方向而排列配置，所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着所述第三方向而排列配置的振动片，对所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂通电，在所述振动片中激发包含第一振动和第二振动的第一振动模式，并对所述第一振动模式的等效串联电阻R1进行测量的工序，其中，所述第一振动为，使所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着与包含所述第一方向以及所述第三方向的面交叉的面外方向且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第二振动为，使所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂以与所述第一振动相反的相位且沿着所述面外方向彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动；对于所述振动片，对所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂通电，在所述振动片中激发包含第三振动和第四振动的第二振动模式，并对所述第二振动模式的等效串联电阻R2进行测量的工序，其中，所述第三振动为，使所述第一驱动用振动臂以及所述第二驱动用振动臂沿着所述面外方向且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动，所述第四振动为，使所述第一检测用振动臂以及所述第二检测用振动臂以与所述第三振动相同的相位且沿着所述面外方向彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动；对所述第二振动模式的所述等效串联电阻R2相对于所述第一振动模式的所述等效串联电阻R1的比率r＝R2/R1进行计算，并实施所述振动片的适否判断的工序。