[发明专利]加热装置组件和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201410120821.9 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103924197A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 藤野诚治;王小虎;崔伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热装置组件，其中，该加热装置组件包括多个互相独立的加热部，每个所述加热部内均形成有加热腔，每个所述加热腔内均设置有相应的可独立控制的加热件，多个所述加热部包括具有上加热腔的上加热部、具有下加热腔的下加热部和至少一个具有备用加热腔的备用加热部，所述上加热部能够与所述下加热部组合，以形成加热装置，所述备用加热部能够与所述上加热部和/或所述下加热部组合以形成加热装置，所述备用加热腔的尺寸不同于所述上加热腔的尺寸和/或所述下加热腔的尺寸。本发明还提供一种蒸镀设备。在本发明所提供的加热装置组件中，多个加热腔可以任意组合，从而可以获得具有不同加热腔的加热装置，以适用于各种型号的坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 组件 设备 | ||
【主权项】：
一种加热装置组件，其特征在于，该加热装置组件包括多个互相独立的加热部，每个所述加热部内均形成有加热腔，每个所述加热腔内均设置有相应的可独立控制的加热件，多个所述加热部包括具有上加热腔的上加热部、具有下加热腔的下加热部和至少一个具有备用加热腔的备用加热部，所述上加热部能够与所述下加热部组合，以形成加热装置，所述备用加热部能够与所述上加热部和/或所述下加热部组合以形成加热装置，所述备用加热腔的尺寸不同于所述上加热腔的尺寸和/或所述下加热腔的尺寸。
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