[发明专利]一种制备用于观察倒焊互连情况的制样方法

摘要

本发明公开一种制备用于观察倒焊互连情况的制样方法。该方法包括固定样品、固化、切割、研磨四个步骤。该方法通过对倒焊互连样品制样，能够直观的观察互连对准情况、互连均匀性及未互连情况、互连压力与互连后间隙关系、互连后底充胶等情况。作为倒装芯片技术的有效反馈，该手段可以作为焦平面、探测器、传感器器件工艺分析的佐证。

主权项

一种制备用于观察倒焊互连情况的制样方法，其特征在于包括以下步骤：1)用塑料夹具无损无压地固定待观察样品，然后将固定好的待观察样品放入合适的模具，模具是橡胶、塑料器皿、PVC管、硬纸、打印纸自卷桶或塑料瓶盖；2)将冷镶嵌料粉和冷镶嵌液按技术要求混合，尔后迅速倒入盛有待观察样品的模具中；3)等待冷镶嵌料自然固化后，取出，用内圆切片机或DISCO切割机切出一个平整的起始观察面；4)用研磨、抛光的方式将观察面处理光亮，制样完成。