[发明专利]用于基于铜的金属层的蚀刻组合物和制备金属线的方法在审
| 申请号： | 201410123681.0 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104073803A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李恩远;李铉奎;权玟廷;金镇成;梁圭亨;赵成培 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/14;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杨黎峰;石磊 |
| 地址： | 韩国全罗*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于基于铜的金属层的蚀刻组合物和制备金属线的方法。公开了一种用于基于铜的金属层的蚀刻剂组合物，所述蚀刻剂组合物能够呈现优异的锥角轮廓，且公开了使用该蚀刻剂组合物形成布线的方法。用于基于铜的金属层的所述蚀刻剂组合物包括：0.5重量%至20重量%的过硫酸盐、0.1重量%至5重量%的唑化合物、和余量的水，由此选择性地蚀刻基于铜的金属层，具有优异的蚀刻图案的平直度，且呈现改善的锥角轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 金属 蚀刻 组合 制备 金属线 方法 | ||
【主权项】：
一种用于基于铜的金属层的蚀刻剂组合物，包括：0.5重量%至20重量%的过硫酸盐、0.1重量%至5重量%的唑化合物、和余量的水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司，未经东友精细化工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410123681.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种陶瓷金属层的电镀镍方法
- 下一篇：一种键合丝退火系统
