[发明专利]一种阴极电弧靶冷却装置在审
申请号: | 201410124974.0 | 申请日: | 2014-03-31 |
公开(公告)号: | CN104947045A | 公开(公告)日: | 2015-09-30 |
发明(设计)人: | 田灿鑫;韩滨;付德君 | 申请(专利权)人: | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 姜荣华 |
地址: | 443500 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道,靶材嵌在靶座表面上;所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开,铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间,靶材与铜板相接触;所述冷却水道内通过液体时,铜板受液体压力向靶材凸出。本发明的优点在于,利用铜片良好的传导性导热,同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开,其设备的冷却效果好,又不影响真空设备及生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 阴极 电弧 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种阴极电弧靶冷却装置,其特征是:所述冷却装置包括靶座(1)、靶材(2)、及设在靶座(1)内部的多条冷却水道(3),靶材(2)嵌在靶座(1)表面上;所述靶材(2)与所述冷却水道(3)被铜板(4)隔开,铜板(4)使冷却水道(3)与靶材(2)分属不同的独立空间,靶材(2)与铜板(4)相接触;所述冷却水道(3)内通过液体时,铜板(4)受液体压力向靶材(2)凸出。
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