[发明专利]一种WOLED背板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种WOLED背板及其制作方法。所述方法包括：在基板上制作完成底层薄膜晶体管；在所述底层薄膜晶体管上形成钝化层；在所述钝化层表面形成彩膜层；利用半色调曝光对所述彩膜层进行曝光，保留像素电极区域的彩膜层，并在彩膜层中间部位形成凹槽结构；在对彩膜层进行曝光后的基板表面形成树脂材料层，并在树脂材料层的部分区域上进行重掺杂，使得重掺杂部分具有导电性；所述树脂材料层的部分区域对应像素电极区域、过孔区域以及像素电极区域和过孔区域的连通区域；在对树脂材料层的部分区域进行重掺杂后的基板表面依次形成有机发光层和阴极。本发明通过在彩膜上形成凹槽结构代替传统的像素界定层制作，减少了制作成本。

主权项

一种WOLED背板的制作方法，其特征在于，包括：在基板上形成底层薄膜晶体管的图案；在所述底层薄膜晶体管上形成钝化层的图案；在所述钝化层表面形成彩膜层的图案；利用半色调曝光对所述彩膜层的图案进行曝光，在彩膜层图案中形成凹槽结构；在形成有凹槽结构的基板表面形成树脂材料层图案，并在树脂材料层的部分区域上进行重掺杂，使得重掺杂部分具有导电性；所述树脂材料层进行重掺杂的部分区域对应像素电极区域、过孔区域以及像素电极区域和过孔区域的连通区域；在对树脂材料层的部分区域进行重掺杂后的基板表面依次形成有机发光层和阴极。