[发明专利]一种硅片母合金的制备方法有效
| 申请号： | 201410127558.6 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN104947187B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 吕学谦;孟华;银波;郭增昌;范协诚 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 罗建民,邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片母合金的制备方法，该方法为将精制硅源气体与第IIIA族元素的三氯化物、第IIIA族元素的氢化物、第VA族元素的三氯化物、第VA族元素氢化物中的一种或多种通入到流化床反应器内，并向流化床反应器内通入籽晶并使得该籽晶流体化，通过热分解反应制得硅片母合金，其中，第IIIA族元素为硼或铝，第VA族元素为磷或砷。该方法制得的硅片母合金为粒状的硅片母合金，可以进行连续加入原料，并降低生产的硅片母合金的成本，提高产量，现有技术中制得的硅片母合金为块状的整体，本发明有效地解决现有技术制得的硅片母合金在使用过程中无法准确称量及二次破碎过程中引入的二次污染问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片母合金的制备方法，其特征在于，将精制硅源气体与第IIIA族元素的三氯化物、第IIIA族元素的氢化物、第VA族元素的三氯化物、第VA族元素氢化物中的一种或多种通入到流化床反应器内，并向流化床反应器内通入籽晶并使得该籽晶流体化，通过热分解反应制得硅片母合金，其中，所述第IIIA族元素为硼或铝，所述第VA族元素为磷或砷，所述精制硅源气体采用精制氯硅烷低沸物，所述精制硅源气体为精制氯硅烷的提纯过程产生的沸点较低的氯硅烷，即塔顶采出氯硅烷，将所述精制硅源气体通过吸附除去金属杂质。
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