[发明专利]对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备有效
| 申请号： | 201410128779.5 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103884466A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李明;李凯;王超刚;梁斌;何小意;唐兴斌;姚君;吕海马 | 申请（专利权）人： | 钢研纳克检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张军;王艳娇 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备。所述方法包括：获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。根据本发明，能够实时测量主要器件所在腔体的真空度并根据测量的腔体的真空度控制质谱仪动作以保护质谱仪的关键器件。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 进行 真空 测量 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种对质谱仪进行真空度测量和控制的方法，包括：获取至少一个真空规管测得的腔体的真空度及真空规管内部识别电阻的端电压；根据真空规管内部识别电阻的端电压及真空规管测得的真空度确定该真空规管所测量的腔体的类型；根据各真空规管测得的真空度及所测量的腔体的类型控制质谱仪动作。
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