[发明专利]一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法

摘要

本发明公开了一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，包括以下步骤：（a）在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝；（b）对硅片的背面进行激光开槽处理，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结；（c）将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理。这种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法可以增加钝化层中固定负电荷密度，从而增强场效应钝化作用，并且退火过程中Si/Al₂O₃界面生成SiO_x薄层，从而使Si/Al₂O₃界面缺陷密度降低，最终降低了背面复合，提高了背钝化电池的少子寿命，最终对于电池的开压、电流以及FF都有较好的改善。

主权项

一种可以提高P型背面钝化电池效率的热处理方法，其特征是，包括以下步骤：（a）在做完刻蚀的硅片正面沉积氮化硅层，背面蒸镀三氧化二铝；（b）对硅片的背面进行激光开槽处理，然后依次印刷背极背场和正银，并完成烧结；（c）将金属化完成的电池片在无氧无氢状态下进行低温退火处理。