[发明专利]一种承载装置及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201410130698.9 申请日: 2014-04-02
公开(公告)号: CN104979259B 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 侯宁 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01J37/32;H01L21/67
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种承载装置及等离子加工设备,该承载装置包括托盘、定位压环和盖板压环,其中,在托盘上设置有用于承载被加工工件的承载位;定位压环的数量和位置与承载位的数量和位置一一对应,定位压环用于将被加工工件的位置限制在承载位上;盖板压环的数量和位置与所述承载位的数量和位置一一对应,且盖板压环通过与托盘螺纹连接,而将定位压环和被加工工件固定在托盘上。本发明提供的承载装置,其不仅可以简化被加工工件的装卸过程、提高装卸效率,而且还可以避免盖板崩边或倾斜的现象,从而可以减少损伤被加工工件的情况。
搜索关键词: 一种 承载 装置 等离子体 加工 设备
【主权项】:
1.一种承载装置,其包括托盘,在所述托盘上设置有用于承载被加工工件的承载位,其特征在于,所述承载装置还包括定位压环和盖板压环,其中,所述定位压环的数量和位置与所述承载位的数量和位置一一对应,所述定位压环用于将所述被加工工件的位置限制在所述承载位上,所述定位压环用于限制所述被加工工件的周向位置;所述盖板压环的数量和位置与所述承载位的数量和位置一一对应,且所述盖板压环通过与所述托盘螺纹连接,以将所述定位压环和被加工工件固定在所述托盘上。
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