[发明专利]有机光电子器件的卷对卷制备设备及其制备方法有效
| 申请号： | 201410130950.6 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN103872266A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 冷重钱;史浩飞;罗伟;邵丽;尹韶云;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿器件材料传输方向先后设置；所述惰性气体腔室内还设置有水分析仪和氧分析仪；本发明的卷对卷设备和制备方法能实现连续、快速、大规模制备有机光电子器件，冲破传统工艺成本高，不能连续、快速、大规模制备的产业化障碍，同时为柔性透明有机器件的制备提供了一个极佳方法。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 光电子 器件 制备 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种有机光电子器件的卷对卷制备设备，其特征在于：包括惰性气体腔室和设置在惰性气体腔室内的卷对卷传输装置、有机功能层制备系统和阴极形成系统；所述有机功能层制备系统和阴极形成系统依次沿衬底材料传输方向先后设置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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