[发明专利]工艺制程处理方法及系统有效
申请号: | 201410134092.2 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN104977857B | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 李娟娟 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | G05B19/04 | 分类号: | G05B19/04 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 李芙蓉 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种工艺制程处理方法及系统,其中方法包括根据工艺制程中各个参数的物理存储位置,将工艺制程中的所有参数划分为两种类型,其中,一种为工艺参数,另一种为配置参数;工艺开始后,读取工艺制程中的所有参数的值;遍历工艺制程中的所有参数,并根据参数的名称识别当前参数的类型;若当前参数为配置参数,则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值,若判断当前参数存在指定值,则将指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。其实现了根据用户需求对某一个工艺制程单独进行配置参数的设置,满足了现有工艺的需求,方便用户编辑查看。 | ||
搜索关键词: | 工艺 处理 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种工艺制程处理方法,其特征在于,包括以下步骤:根据工艺制程中各个参数的物理存储位置,将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型,其中,一种为工艺参数,另一种为配置参数;工艺开始后,读取所述工艺制程中的所有参数的值;遍历所述工艺制程中的所有参数,并根据所述参数的名称识别当前参数的类型;若当前参数为所述配置参数,则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值,若判断当前参数存在所述指定值,则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。
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