[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，能够在不妨碍从聚光器照射的激光光线的光路的情况下，将由于从聚光器向被加工物照射激光光线而产生的碎屑等粉尘排出。所述激光加工装置具备粉尘排出构件，该粉尘排出构件将由于从该聚光器向被加工物照射激光光线而产生的粉尘排出。粉尘排出构件包括在聚光器的下侧配设的吸尘器和与该吸尘器连接的抽吸构件。吸尘器基于矩形形状的顶壁以及分别从顶壁的两侧边垂下的第1侧壁和第2侧壁形成为U形状，所述顶壁具备容许从聚光器照射的激光光线通过的开口。抽吸构件包括抽吸管道，该抽吸管道的一端与吸尘器连接且另一端与抽吸源连接。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置具备：卡盘工作台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其具有聚光器，所述聚光器向保持于该卡盘工作台上的被加工物照射激光光线来对被加工物进行加工；以及粉尘排出构件，其将由于从该聚光器向被加工物照射激光光线而产生的粉尘排出，该粉尘排出构件包括在该聚光器的下侧配设的吸尘器和与该吸尘器连接的抽吸构件，该吸尘器由矩形形状的顶壁以及分别从该顶壁的两侧边垂下的第1侧壁和第2侧壁形成为U形状，所述顶壁具有容许从该聚光器照射的激光光线通过的开口，该抽吸构件包括抽吸管道，所述抽吸管道的一端与由该吸尘器的该顶壁、该第1侧壁以及该第2侧壁的一端部形成的矩形形状开口连接，且另一端与抽吸源连接，由该吸尘器的该顶壁、该第1侧壁的另一端和该第2侧壁的另一端划定的矩形形状开口与空气供给构件连接。