[发明专利]加压加热接合结构及加压加热接合方法有效
| 申请号： | 201410136723.4 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN104103611B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 木下庆人;望月英司;西泽龙男;多田慎司 | 申请（专利权）人： | 富士电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/603;H01L25/07 |
| 代理公司： | 11286 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金光军;金玉兰 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种加压加热接合结构及加压加热接合方法。所述的一种加压加热接合结构，将使用金属微粒作为接合材料而将两个部件加压加热接合，其中，将线膨胀系数不同的第一部件（14）与第二部件（4A）配置成使产生于该第一部件与第二部件之间的热应力作为加压力作用于两个部件的接合面（F2），并在将所述金属微粒设置在所述接合面之间的状态下升温而将所述第一部件与所述第二部件加压加热接合。根据本发明，即使在与加压方向正交的接合面上也能有效地进行加压加热接合。 | ||
| 搜索关键词： | 加压 加热 接合 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加压加热接合结构，使用金属微粒作为接合材料而将两个部件加压加热接合而成，其特征在于，具有：/n第三部件，其具有在中央部形成有嵌合凹部的环状突起；/n第四部件，嵌合于该第三部件的嵌合凹部，并具有大小为该第三部件的线膨胀系数以上的线膨胀系数；和/n紧固夹具，具有与所述第三部件的环状突起的外周缘卡合的卡合孔，并具有小于所述第三部件的线膨胀系数的线膨胀系数，/n其中，隔着所述金属微粒而将所述第四部件配置于所述第三部件的嵌合凹部，并在将所述紧固夹具安装于所述第三部件的外周面的状态下升温，使所述紧固夹具约束所述第三部件和所述第四部件的热膨胀，从而将加压力施加于所述第三部件与所述第四部件的接合面而进行加压加热接合。/n
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