[发明专利]光罩检测方法在审
| 申请号： | 201410138979.9 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103913943A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 何理;许向辉;郭贤权;陈超 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光罩检测方法，包括：提供一控片，将待测光罩的图形转移到所述控片上；对所述控片进行第一次缺陷扫描；将所述控片旋转90°之后进行第二次缺陷扫描。在本发明提供的光罩检测方法中，通过将待测光罩的图形转移到控片上，并对所述控片进行垂直两个方向的扫描以消除扫描设备的检测盲点，使得所述扫描设备能够全面地检出缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种光罩检测方法，其特征在于，包括：提供一控片，将待测光罩的图形转移到所述控片上；对所述控片进行第一次缺陷扫描；将所述控片旋转90°之后进行第二次缺陷扫描。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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