[发明专利]一种晶圆测试过程中的拾片文件的自动生成方法有效
| 申请号： | 201410143264.2 | 申请日： | 2014-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN104715101B | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 金兰;石志刚;杨振宇 | 申请（专利权）人： | 北京确安科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆测试过程中的拾片文件的自动生成方法，通过探针台最终Map图信息自动生成拾片文件的方法；操作步骤是：选择要输入的有效的Map图文件，选择用户要求的拾片文件输出文件格式，选择拾片文件输出路径，自动生成拾片文件；该发明方法消除了现有的拾片文件的不安全因素，操作简便、快速、结果安全，节约了测试成本，保证了被测晶圆管芯测试结果的唯一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 过程 中的 文件 自动 生成 方法 | ||
【主权项】：
1.晶圆测试过程中的拾片文件的自动生成方法，其特征在于,包括以下步骤：选择要输入的有效的Map图文件，格式为*.txt或者*.map，选择客户要求的拾片文件输出格式，选择拾片文件输出路径，从所述有效的Map图文件中提取有效信息，根据所述有效信息自动生成拾片文件；其中，所述有效的Map图文件为自动探针台的最终Map图，所述Map图包括以下信息：LotID、WaferID、行数、列数、翻转角度、XY轴坐标以及Bin值；且所述Map图中P为好管芯，F为坏管芯，M为晶圆边缘的不完整管芯，其余四角部分为非测试区域；所述拾片文件的文件名中包括LotID和WaferID，以保证晶圆管芯测试结果的唯一性。
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