[发明专利]磁体单元和包含所述磁体单元的溅射设备无效
申请号: | 201410143705.9 | 申请日: | 2014-04-10 |
公开(公告)号: | CN104120392A | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 吴芝瑛;千庸焕 | 申请(专利权)人: | 亚威科股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 韩国大丘广域市达*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种磁体单元,包含:卡箍;第一磁体,经设置以在所述卡箍上具有直线形状;以及第二磁体,设置在所述卡箍上以围绕所述第一磁体,其中所述第一磁体与所述第二磁体之间的间隔和角度中的至少一个在至少两个区域中不同;且提供一种包含所述磁体单元的溅射设备。 | ||
搜索关键词: | 磁体 单元 包含 溅射 设备 | ||
【主权项】:
一种磁体单元,其特征在于包括:卡箍;第一磁体,经设置以在所述卡箍上具有直线形状;以及第二磁体,设置在所述卡箍上以围绕所述第一磁体,其中所述第一磁体与所述第二磁体之间的间隔和角度中的至少一个在至少两个区域中不同。
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