[发明专利]一种化学液供给装置及其供给方法

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给装置及其供给方法，第一、二供液桶分别连通由电磁阀控制开关的供气源，原料桶与第一供液桶相连通，并在管路上设有药液阀；第一供液桶输出的化学液一路连通由药液阀控制开关的浸泡单元，另一路连通向工艺处理腔体内晶圆喷洒化学液的扇状喷嘴，另一路的管路上设有高压泵，并在管路上安装有药液阀；工艺处理腔体与回收桶连通，工艺处理腔体中的化学液通过回收桶回收，并通过化学液泵泵入第二供液桶内；第二供液桶通过管路与高压泵的输入端相连通，并在管路上安装控制管路开关的药液阀。本发明实现了化学液的无间断供应，无需人工干预；供给装置结构简单紧凑，占地面积小。

主权项

一种化学液供给装置，其特征在于：包括原料桶(7)、第一供液桶(9)、第二供液桶(24)、回收桶(25)、真空发生器(2)、高压泵(14)、化学液泵(28)、工艺处理腔体(29)、电磁阀及药液阀，其中第一供液桶(9)及第二供液桶(24)分别连通由电磁阀控制开关的供气源，所述第一供液桶(9)还连通由电磁阀控制开关的真空发生器(2)，所述原料桶(7)与该第一供液桶(9)相连通，并在原料桶(7)与第一供液桶(9)之间的管路上设有控制管路开关的药液阀；所述第一供液桶(9)输出的化学液一路连通由药液阀控制开关的浸泡单元，另一路连通向工艺处理腔体(29)内晶圆喷洒化学液的扇状喷嘴(31)，所述另一路的管路上设有高压泵(14)，并在管路上安装有控制管路开关的药液阀；所述工艺处理腔体(29)通过管路与回收桶(25)连通，工艺处理腔体(29)中的化学液通过所述回收桶(25)回收；所述回收桶(25)通过管路与第二供液桶(24)连通，并在该管路上分别设有化学液泵(28)及控制管路开关的药液阀，所述回收桶(25)内回收的化学液通过化学液泵(28)泵入第二供液桶(24)内；所述第二供液桶(24)通过管路与高压泵(14)的输入端相连通，并在管路上安装控制管路开关的药液阀，所述第二供液桶(24)内回收的化学液通过高压泵(14)、扇状喷嘴(31)向晶圆喷洒的同时，由第一供液桶(9)输出化学液的所述另一路管路关闭。