[发明专利]带集成探测器的电子显微镜有效
| 申请号： | 201410144323.8 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103887134B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | F.H.尚伯;C.G.范比克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/256;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 成城,杨炯 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子显微镜，包括用于容纳待分析样本的真空室，包括电子源和用于聚焦从电子源发出的电子的最终形成探针的透镜的光学柱，位于真空室中、形成探针的透镜下方用于保持样本的样本台，以及位于真空室中的X射线探测器。X射线探测器包括对X射线敏感的固态传感器和用于在真空室中支持及定位探测器包括传感器的机械支持系统。机械支持系统整体容纳在真空室中。多个不同类型的探测器可在真空室中支持在机械支持系统上。机械支持系统也可包括至少一个用于热电冷却X射线传感器的热电冷却元件。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 探测器 电子显微镜 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜和X射线探测器的组合，所述电子显微镜包括容纳用于保持待分析样本的样本台的真空室，且所述X射线探测器包括固态X射线传感器和热力循环，所述固态X射线传感器安装在所述真空室中，所述热力循环接合所述传感器并结合目的是从所述传感器移除热的至少一个热电冷却元件；结合所述真空室的所述热力循环用于耗散来自所述热电冷却元件的输出热，其中所述电子显微镜和X射线探测器的组合包括从所述电子显微镜的光学元件热隔离所述真空室的绝热屏障，其中所述绝热屏障包括为所述X射线探测器保留电子电路的电路板。
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