[发明专利]反射镜单元和曝光装置有效
| 申请号： | 201410145450.X | 申请日： | 2014-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN104111527B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 崔长植 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种反射镜单元，包括反射镜；多个非接触型致动器，所述非接触型致动器包括可移动元件和定子并且被构造成用于改变所述反射镜的形状；支撑板，所述定子被固定至所述支撑板；以及被构造成用于保持所述反射镜和所述支撑板的构件。所述可移动元件被附连至所述反射镜的与光学表面相反的表面，并且所述构件经由运动学支架保持所述支撑板。以及一种曝光装置。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 单元 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种反射镜单元，包括反射镜；多个非接触型致动器，所述非接触型致动器包括可移动元件和定子并且被构造成用于改变所述反射镜的形状；支撑板，所述定子被固定至所述支撑板；保持元件，所述保持元件被构造成用于在接触所述反射镜但不接触所述支撑板的情况下保持所述反射镜；运动学支架，所述运动学支架被构造成接触所述支撑板；以及被构造成用于保持所述保持元件并且被构造成用于在接触所述运动学支架的情况下保持所述支撑板的构件；其中所述可移动元件被附连至所述反射镜的与光学表面相反的表面。
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