[发明专利]一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴有效
| 申请号： | 201410148971.0 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103984213B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘学平;王汉;徐强;向东;牟鹏;段广洪 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;B05B1/34 |
| 代理公司： | 深圳市汇力通专利商标代理有限公司44257 | 代理人： | 茅秀彬,王锁林 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴，包括喷嘴主体，该喷嘴主体内部设有进液流道、均压流道以及出射流道；开有一狭缝的矩形导流板，该矩形导流板装于所述进液流道下端的法兰部，所述进液流道通过该矩形导流板的狭缝过渡到所述均压流道；带喷嘴入口的盖板，与所述喷嘴主体密封连接；及，排气装置，插接于所述喷嘴主体的一端，其内的排气管道与所述进液流道连通。该导流板的狭缝与均压流道的导流斜面的配合实现了液体的均匀分配，使液体经过进液流道后均匀稳定流入均压流道，同时液体在均压流道稳定到一定高度，依靠液体内部静压作用液体从出射流道均匀流出，实现了显影喷涂的均匀性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均压流道 均匀 显影 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种具有均压流道的均匀出流显影喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴主体 ，该喷嘴主体内部依次设有进液流道、均压流道以及出射流道，该出射流道由阵列排布的若干小孔，该若干小孔位于该均压流道底部；开有狭缝的矩形导流板，该矩形导流板安装于所述进液流道下端的法兰部，所述进液流道通过该导流板的狭缝与所述均压流道上部的导流斜面的配合过渡到所述均压流道；具有喷嘴入口的盖板，该盖板与所述喷嘴主体密封连接；以及排气装置，插接于所述喷嘴主体的一端，其内的排气管道与所述进液流道连通。
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