[发明专利]氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法

摘要

一种氧化铟锡靶材烧结制备方法。靶材素坯置入烧结炉内，保持烧结炉内常压空气气氛，以15-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第一高温，恒温4至10小时；将烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20-100摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第二高温；使烧结炉内温度在第三高温到第二高温的振荡区间内振荡5至30小时：当温度达到第二高温时，即以50-300摄氏度每小时提高烧结炉内温度直到温度达到第三高温，当温度达到第三高温时，即以150-300摄氏度每小时降低烧结炉内的温度直到温度达到第二高温，以20-200摄氏度每小时降至常温，即得氧化铟锡靶材。该技术方案应用成本低，产品质量高。

主权项

一种氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，包括：将靶材素坯置入烧结炉内；保持所述烧结炉内常压空气气氛，以15‑100摄氏度每小时的升温速率，提高所述烧结炉内温度直到温度达到第一高温，在所述第一高温下恒温4至10小时；将所述烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20‑100摄氏度每小时的升温速率，提高所述烧结炉内温度直到温度达到第二高温；保持所述烧结炉内常压纯氧气氛，使烧结炉内温度在所述第三高温到所述第二高温的振荡区间内振荡5至30小时：当温度达到所述第二高温时，即以50‑300摄氏度每小时的升温速率提高所述烧结炉内温度直到温度达到第三高温，当温度达到第三高温时，即以150‑300摄氏度每小时的降温速率降低所述烧结炉内的温度直到温度达到所述第二高温，返回；所述第一高温不小于700摄氏度不大于900摄氏度，所述第二高温不小于1250摄氏度不大于1350摄氏度，所述第三高温不小于1500摄氏度不大于1650摄氏度；将所述烧结炉内的气氛转换为常压空气气氛，以20‑200摄氏度每小时的降温速率，将所述烧结炉内温度降至常温，即得所述氧化铟锡靶材。