[发明专利]沉积设备

摘要

本发明公开了一种沉积设备，该沉积设备包括：沉积室；沉积源，在沉积室中；膜固定部，被构造为固定膜，膜设置有沉积材料沉积到的沉积表面；以及保护板，在沉积室中，以防止沉积材料沉积到沉积室中的侧壁和上壁，从而控制沉积材料仅沉积到有效膜形成区域。尺寸与沉积表面的有效膜形成区域对应的第一开口以及形成在有效膜形成区域的外部区域中的至少一个第二开口形成在保护板上，并且当沉积材料通过沉积源沉积到沉积表面时，通过第二开口的沉积材料在沉积表面上形成对准标记。

主权项

一种沉积设备，所述沉积设备被构造为将沉积材料沉积在膜上，所述沉积设备包括：沉积室；沉积源，在沉积室中；膜固定部，被构造为固定膜，膜包括沉积材料沉积到的沉积表面；以及保护板，在沉积室中，被构造为防止沉积材料沉积到沉积室中的侧壁和上壁，其中，尺寸与沉积表面上的有效膜形成区域对应的第一开口以及形成在有效膜形成区域的外部区域中的至少一个第二开口形成在保护板上，其中，通过所述至少一个第二开口的沉积材料被构造为在沉积表面上形成对准标记。